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產(chǎn)品特點(diǎn)：

該系統(tǒng)為先進(jìn)的清洗(Clean)和蝕刻(Etching)制程提供了卓越的性能和可擴(kuò)展性，具有高吞吐量和更小的占地面積。

高精度自動配液混酸。

快速到達(dá)制程溫度，且精準(zhǔn)溫度控制。

全自動系列客制化機(jī)種。